Fluke 9500B 示波器校准器

Fluke 9500B 示波器校准器性能稳定、全自动、可升级的示波器校准方案

示波器的校准复杂，占用时间多，费用昂贵。为完成示波器的校准，通常需要多个熟练的操作人员协同工作，而如今在校准多通道的示波器时，经常需要进行大量的连接切换。即使是自动化的校准，也经常需要人工干预才能完成校准过程。更糟糕的是，用于实现自动化程度的开关或多路转换器开关往往使得它们比被校准的设备更容易出现误差。

使问题更加复杂的是，示波器技术的快速发展，要求进行定期的大量再投资，才能赶得上发展的趋势。9500B 示波器校准工作站打破了这一常规。这意味着，它能使每个人都能享受免人工干预的全自动精确示波器的校准，价格和性能水平*用户的需要和预算，不仅如此，在需要时，可以进行全面的性能升级，满足将来的需要。

福禄克提供一系列的有源探头，9560的推出再次兑现了我们对示波器校准不断升级的承诺。当前使用 9500 的用户可以将其设备升级到 9500B，即可享受9560探头所带来的好处。9560 可提供 6.0 GHz 的稳幅正弦波和仅为 70 ps 的快沿脉冲。

与其他示波器校准器不同的是，9500B脉冲幅度可调。有源信号头技术™ 使您可以在 4.44 mV 到 3.1 V 之间调节输出幅度，这就使您能够直接在示波器灵敏的量程上来检查示波器的放大器。无论您选择什么脉冲幅度，受控波形滤波技术将保证所有的高速快沿都具有规定好的准确快沿脉冲。

• 自动化的功能提供了*免干预的示波器校准 - 即使是在校准当今高性能的多通道、多功能示波器时也能实现。

• 不断升级的能力有助于保护您在校准示波器上的投资。

• 5 通道同步输出意味着不再需要改连续切换，也不再需要复杂的信号多路转换开关或电阻匹配网络。

• 6.0 GHz 的稳幅正弦波和 70 ps 的快沿脉冲具有校准高性能示波器所需的全部性能和灵活性。

• 福禄克计量校准部*的有源信号头技术™ 可以在示波器的输入端产生校准信号 – 不必怀疑连接导线或示波器本身是否造成了波形失真。

9500B 示波器校准器的特点

自动化示波器校准可能体现许多校准实验室中生产力的提高。如果是手动，则该项工作需要熟练的操作人员花费大量的时间执行基本上是重复的任务。半自动化或自动化的方案显然能够解决这一问题，并解放出熟练的技术人员去执行更有价值的任务。

在过去的十年中，所选择的示波器已经从两通道的设备发展为更加复杂的四通道设备。在校准这些设备的过程中必须将校准信号从一个通道转接到另外的通道。这可以通过物理上移动电缆实现，但需要操作人员的干预。在高性能的设备中，操作电缆和连接器时可能会引入额外的测量不确定度。另外一种选择就是采用开关矩阵来切换信号，但是也会导致其它问题，如信号反射、接触不良和通道差异，终对校准不确定度影响很大。

Fluke 9500B 示波器校准器有源信号头和全自动化校准

福禄克计量校准部9500B 使用其*的有源信号头解决了这些难题，并提供真正的全自动校准能力。使用9500B 的时候，校准示波器所需的所有信号都在远离校准器主机的有源信号头中产生。该有源信号头直接连接到示波器输入端，无需附加电缆。所有的波形控制和切换动作均由主机控制，但是这些波形控制和切换动作本身却是在有源信号头的内部实现的 - 也就是说，这些信号波形是在距离示波器输入端和放大器仅几毫米的位置产生的。每台9500B 主机可控制5 个有源信号头，可提供控制和切换校准一台4 通道示波器所需的所有信号，包括一路外部触发信号，而不需要操作人员的干预或外部的开关切换。

MET/CAL® Plus 校准管理软件

全面自动化校准中的后一个环节就是软件。9500B 示波器校准器可以和功能强大的、基于IEEE-488 (GPIB) 的MET/CAL Plus 自动校准管理软件配合使用。MET/CAL 不仅能实现校准的自动化，还能记录校准结果、管理校准目录并且使您能够开发新的示波器校准程序。该软件运行在 Microsoft Windows® 环境下，并支持多用户联网，可实现各种高级功能，例如符合ISO 9000 的可溯源性、生成定制证书和报告以及高级程序编程。采用MET/CAL 软件的结果就是达到更高的工作效率、获得更好的校准一致性、使人为差错较小化以及降低对操作人员的培训要求 。

校准程序支持

为与快速发展的示波器市场保持同步，福禄克不断开发出新的校准程序。以一次性的低成本支出即可购买MET/SUPPORT支持程序，使您能够获得福禄克软件支持团队在未来12 个月内编写的所有新程序。以当前的性能，每年有100 款以上新的示波器校准程序。您无需申请更新或等待发货，我们编写的每一款新程序均可从我们的网站上下载。除程序库以外，您还将得到60 天的优先支持，使您在MET/SUPPORT支持下开始使用示波器校准程序。您还可以选择购买MET/SUPPORT支持程序，该程序可为您提供多种好处，包括从网站上下载新的程序，甚至获得定制编写的程序。如果没有您所需的示波器校准程序，我们能够以非常具有竞争力的费用为您编写，这是我们快速跟踪程序编写计划的一部分。

升级能力

保护投资

在近几年中，示波器技术和性能水平已经有了翻天覆地的变化，并且这种趋势还在继续。在数年前还被认为是前沿设备的仪器现在可能已经被放到了通用工具库。而维护用于支持这些设备的校准器的挑战是如何保持与这种发展同步。Fluke 9500B 提供了完美的升级解决方案。现在，您可以投资于适合的600 MHz示波器校准方案。当工作负载发生变化时，性能好的设备变得更加重要，此时您可以将性能升级至1.1 GHz、3.2 GHz 甚至是6 GHz。如果您需要使用性能好的设备，您随时可以直接进行升级。如果您暂时不需要全自动化的方案，可以仅仅先使用一个有源信号头。当需求变化时，可以增加有源信号头，直到系统的自动化程度和性能水平*您的日常校准示波器的需要。只有Fluke 9500B 示波器校准可以凭借其*的“有源信号头技术”提供保护您在校准设备上的投资解决方案。

一系列主机

在福禄克，我们充分认识到，我们必须着眼于高水平的性能才能维持我们在示波器校准领域*的地位。然而，我们也明白，并不是所有人都需要高的性能 – 至少现在还不是。为满足校准实验室的需要，福禄克提供了一系列9500B 产品。包括：

• 9500B/600，600 MHz 高性能示波器校准解决方案
• 9500B/1100，1100 MHz 高性能示波器校准解决方案
• 9500B/3200，3.2 GHz 高性能示波器校准解决方案

我们知道，将来的需求一定会发生变化，*购买新设备来提高性能水平也并不是您所希望的方法。因此，您可在任何时候将以上所列的任何型号升级到更高的性能水平，如果您已经有了一台9500校准器，还可以单独提供升级选件。我们将尽一切所能保证将来的开发也符合这一升级理念。

有源信号头的范围

四种不同的有源信号头扩展了9500B 系列的升级选件。增加有源信号头可以提高性能、扩展频率范围或提高 9500B 示波器校准解决方案的自动化程度。

• 9510，1.1 GHz 有源信号头，500 ps 脉冲上升时间- 9510 与所有的9500B 主机兼容，提供1.1 GHz（或主机的较高频率，其中较低者）的稳幅正弦波。与任意主机配合使用时，可输出上升时间为500 ps 的脉冲。
• 9530，3.2 GHz 有源信号头，150 ps 和500 ps 脉冲上升时间- 9530 与所有的 9500B 主机兼容，提供3.2 GHz（或主机的较高频率，其中较低者）的稳幅正弦波。与任意主机配合使用时，可输出上升时间从150 ps 到500 ps 的脉冲，用户可选上升时间。
• 9550，超快有源信号头，25 ps 脉冲性能- 9550 提供上升时间和下降时间为25 ps 的脉冲。
• 9560，6 GHz 带宽有源信号头- 9560 为9500B 提供了*的性能，可以利用稳幅正弦波功能精确校准6 GHz 的示波器。是其他任何示波器校准器所*的。与9500B/3200 主机配合使用时，9560能产生6 GHz 的信号。如果您希望将现有的9500 主机升级至该性能水平，请与福禄克联系。

性能

有源信号头技术（Active Head Technology^TM）

有源信号头是精密设计的小型模块，通过两根电缆（信号线和控制线）连接至9500B 主机。在信号头的内部全部是产生校准示波器所需信号的电路。包括高达±220 V 的精密直流电平；高达210 V 峰峰值的校准方波，频率为10 Hz 至100 kHz；从0.1 Hz 至6 GHz（取决于信号头）的稳幅正弦波；以及0.2 ns 至50 s 的四种不同形式的时标信号。信号头内的混合电路甚至可以将外部产生的高频校准信号从有源信号头输出。混合电路中还包括正弦波幅值传感电路、带宽衰减网络、脉冲发生器、快沿发生器和输出信号多路转换开关。提供优异性能的关键是信号头的输出电路与示波器放大器输入之间的距离。在传统的电缆连接的环境中，不匹配、未知或不可预测的电缆传输特性和不适当的连接均是造成校准器输出和示波器输入之间信号衰减的原因。使用有源信号头时，校准器输出和示波器输入之间实际仅隔着几毫米的距离。如此近的距离包括了匹配阻抗、微带传输线和高质量的BNC 或SMA 连接器，消除了校准信号衰减、失真和不确定度的来源。可在内部自动切换的50Ω 端接器使得在连接至高阻抗示波器输入时不再需要外部的端接器。

垂直和水平偏转带宽

快沿的幅值范围达4.44 mV 至3.1 V，上升/下降时间为70 ps、150 ps 或500 ps，用来检查示波器垂直偏转/采集放大器的脉冲响应和带宽。高压电平的快沿达210 V 峰峰值，可检查输入衰减器的动态性能。稳幅正弦波的频率达600 MHz、1.1 GHz、3.2 GHz 或6 GHz，负载为50 Ω 时幅值达4.44 mV 至5.56 V 峰峰值（当使用 9560 有源信号头时，对于50 Ω 的负载，幅值可达8.88 mV - 5.56 V 峰峰值），可以直接校准示波器的带宽。它还可以校准Z 轴和水平偏转带宽。双正弦输出可以校准示波器的触发灵敏度和其他功能，省去了功分器。

垂直偏转增益

直流电平和10 Hz 至100 kHz 的方波是可调的，幅值达220 V，具有5 位数字的幅值分辨率，直流电平的准确度达0.025%，方波的准确度达0.05% – 对于校准12位和14位数字内差示波器绰绰有余。9500B 甚至可以在加上高电压之前检查示波器的输入阻抗，以保护50 Ω 输入端。自动转换至50Ω 输出阻抗的功能提供了同样的波形，幅值达5.56 V（9560 除外，其电源阻抗通过重新标定小幅值得到补偿，对于50 Ω 负载也就是（8.88 mV - 5.56 V）。

时基准确度

时标信号覆盖了从每格0.2 ns 至每格50 s 范围的时基校准。有四种类型可供选择，还可以对每第10 个标记进行突出显示，将其幅值增高，在模拟和数字储存示波器上都具有适宜的可见度。

方波和脉冲标记还可用于校准时基抖动。9500B 校准器具有高稳定度的参考晶振，具有±0.25 ppm 的定时准确度 – 能够校准新的数字存储示波器。

辅助校准功能

9500B 辅助功能还可以校准其他校准器无力校准的示波器功能。

• 直流和方波电流高达100 mA，可校准示波器电流探头
• 复合视频信号测试示波器电视同步隔离功能
• 线性斜波可校准触发电平，检查数字存储示波器是AD（线性）
• 大电流5V 至20V 脉冲，可测试示波器50 Ω端的保护
• 精确的零偏移快沿脉冲，评估多通道示波器的通道延迟
• AUX IN 可将外部校准波形切换至有源信号头的BNC/SMA 连接器
• 电阻和电容功能，可直接测量示波器的输入阻抗
• 短路/开路输出，可测试示波器输入泄露电流

直流电压
幅值	± 1 mV 至 ± 200 V，至 1 MΩ ± 1 mV 至 ± 5 V，至 50 Ω
一年技术指标	± (0.025% + 25 µV)
调整方式	1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整
偏差	± 11.2%

方波
幅值	范围： 40 µV 至 200 V 峰峰值，至 1 MΩ 40 µV 至 5V 峰峰值，至 50Ω 极性： 正、负或关于地对称 一年技术指标（10 Hz 至 10 kHz）： < 1 mV时=± (1% + 10 µV) 1 mV - 21 mV时=± (0.10% + 10 µV) 调整方式： 1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整 偏差： ± 11.2%
上升/下降时间	< 150 ns(＜100V时) < 200 ns(≥100V时)
畸变	< 2% 峰值，500 ns
频率	范围：10 Hz 至 100 kHz 一年技术指标： ± 0.25 ppm 调整方式： 1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整

低压沿脉冲
幅值	范围： 5 mV 至 3V 峰峰值，至 50 Ω 一年技术指标：脉冲调整范围+ 50 ps 至 - 150 ps 调整方式： 1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整
上升/下降时间	500 ps 归零
占空比	1:9
畸变（至 VSWR 1.2:1）	< ± 2% 峰值，8 GHz 时 < ± 1.5% 峰值，3 GHz 时 （个 10 ns）
频率	范围： 10 Hz 至 2 MHz 一年技术指标： ± 0.25 ppm

高压沿脉冲
幅值	范围： 1 mV 至 200 V 峰峰值，至 1 MΩ 1 mV 至 5 V 峰峰值，至 50 Ω 一年技术指标： ± 3% 调整方式： 1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整
上升/下降时间	< 150 ns（<100V时 ） < 200 ns（≥100V时）
占空比	1:1
畸变	< 2% 峰值，500 ns
频率	范围： 10 Hz 至 100 kHz 一年技术指标： ± 0.25 ppm

快沿（仅 9530 有源信号头可以提供）
幅值	范围： 5 mV 至 3V 峰峰值，至 50 Ω 一年技术指标： ± 3% 调整方式： 1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整
上升/下降时间	150 ps 归零
占空比	1:9
畸变	< 3% 峰值，8 Ghz 时 < 2% 峰值，3 Ghz 时 （一个 Ins）
频率	范围： 10 Hz 至 2 MHz 一年技术指标： ± 0.25 ppm

70ps 快沿（仅 9560 有源信号头可以提供）
幅值	范围： 25 mV 至 2 V 峰峰值 一年技术指标： ± 3% 调整方式： 1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整
上升/下降时间	70 ps 归零
占空比	1:9
畸变	< ± 4% 峰值，20 GHz 时 < 3% 峰值，8 GHz 时 < 1% 峰值，3 GHz 时 （一个 700 ps）
频率	范围： 10 Hz 至 1 MHz 一年技术指标： ± 0.25 ppm 调整方式： 1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整

25ps 快沿（仅 9550 有源信号头可以提供）
幅值	范围： 425 至 575 mV 峰峰值，至 50 Ω 一年技术指标： ± 2%
上升/下降时间	25 ps 归零
占空比	1:9

时标
种类	方波/正弦波、脉冲或窄三角波
方波/正弦波	方波周期： 10 ns 至 55 s 正弦波周期： 450 ps 至 10 ns 9500/600 = 1 ns 至 10 ns 9560 = 180 ps 至 10 ns
脉冲	周期： 1 µs 至 55 s 上升/下降时间 周期的 2.5%
窄三角波
调整方式	1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或在所有波形周期内连续调整
定时准确度	± 0.25 ppm
定时抖动	10 ps 峰峰值
偏差	周期的 ± 45%
幅值	100 mV 至 1 V 峰峰值
子刻度	对所有周期至 ± 1 µs 的波形，可将每第 10 个时标调到一个较高的幅值。

稳幅正弦波和双正弦波
频率	范围： 9500B/600 0.1 Hz 至 600 MHz 9500B/1100 0.1 Hz 至 1.1 GHz 9500B/3200 0.1 Hz 至 3.2 GHz 9500B/2200+9560 0.1Hz 至 6.4 GHz
幅值（稳幅正弦波，至 50Ω）	0.1 Hz - 550 MHz 4.44 mV 至 5.560 V 峰峰值 550 MHz - 2.5 GHz 4.44 mV 至 3.336 V 峰峰值 2.5 GHz - 3.2 GHz 4.44 mV 至 2.224 V 峰峰值 3.2 GHz - 6.4 GHz 25 mV 至 2 V 峰峰值 的一年技术指标： ± 1.5%，50 kHz 时
平坦度（相对于 50 kHz 的稳幅正弦波） 9500B/3200配合9560探头VSWR:1.6:1	0.1 Hz - 300 MHz ± 2% 300 MHz - 550 MHz ± 3% 550 MHz - 1.1 GHz ± 4% 1.1 GHz - 3.2 GHz ± 5% 3 GHz - 6.0 GHz ± 5%
调整方式	1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整
正弦波纯度	二次谐波 < - 35 dBc 三次谐波 < - 40 dBc 所有其他杂波信号 < - 40 dBc（典型值）

输入阻抗
电阻测量（不适用于 9550）	范围： 10 Ω - 150 Ω 和 50 kΩ - 12 MΩ 一年技术指标： 10 - 40 (W) ± 0.5% 40 - 90 ± 0.1% 90 - 150 ± 0.5% 50 k - 800 k ± 0.5% 800 k - 1.2 M ± 0.1% 1.2 M - 12 M ± 0.5%
电容测量（不适用于 9550 或 9560 信号头）	范围： 1 pF 至 95 pF 一年技术指标： 1 pF - 35 pF 2% ± 0.25 pF 35 pF - 95 pF 3% ± 0.25 pF

电流
幅值	直流： ± 100 µA 至 ± 100 mA 方波： 100 µA 至 100 mA 峰峰值
一年技术指标	± (0.25% + 0.5 µA)
频率	10 Hz 至 100 kHz 一年技术指标： ± 0.25 ppm 调整方式： 1、2、5 或 1、2、2.5、4、5 或连续调整

复合视频输出
幅值	1.0 V、0.7 V 和 0.3 V
图案	白、灰或黑
同步极性	正或负
标准	625 行 50 Hz 或 525 行 60 Hz

低频线性斜波
波形	1V 峰峰值对称三角波
斜波时间	1 ms 至 1 s

过载脉冲
幅值	5 V 至 20 V，至 50 Ω
极性	正或负
持续时间	0.2 s 至 100 s
触发	手动

零相位偏移
未调偏移	± 25 ps 通道至通道
已调偏移	± 5 ps 通道至通道
频率范围	10 Hz 至 100 MHz

短路/开路输出
输出泄漏	开路： ± 50 pA 短路： ± 15 µV

辅助端口
信号路由	后面板输入到任意有源信号头
大输入	电压： ± 40 V 峰峰值 电流： ± 400 mA 峰峰值
比率	用户可选： f（至 120 MHz），f/10 或 f/100 自激振荡： 100 Hz
参考频率输入	频率范围： 1 MHz 至 20 MHz，步长 1 MHz 电平： 90 mV 至 1 V 峰峰值，典型值 锁定范围： ± 50 ppm
参考频率输出	频率： 1 MHz 或 10 MHz 电平： 1 V 峰峰值（典型值，至50Ω）

通用规范
温度	操作： 5 °C 至 40 °C 储存： 0°C 至 50°C
湿度（非凝结）	操作： < 90%，5 °C 至 30 °C < 75%，30 °C 至 40 °C 储存： < 95%，0 °C 至 50 °C
电源、电池寿命	电压： 95 V 至 132 V 均方根或 209 V 至 264 V 均方根 频率： 48 Hz 至 63 Hz 功耗： 400 VA
预热时间	20 分钟
尺寸	9500B 型主机： 高 x 宽 x 深: 133 x 427 x 440 mm （5.24 x 16.8 x 17.3 英寸） 重量： 约 12 kg（27 磅） 9510、9530、9550 模块： 高 x 宽 x 深: 65 x 31 x 140 mm （2.56 x 1.22 x 5.51 英寸） 重量： 约 0.45 kg（1 磅）
安全性	符合 UL3111 和 EN61010-1-1:1993/A2:1995.CE 认证 EMC（含选件） 辐射： EN55011/22 耐腐蚀： EN50082-1:1992 FCC Rules part 15 sub-part J class B
质保	主机： 1 年 有源信号头： 3 年