扫描/透射电子显微镜的原理是什么？有哪些优点？

扫描/透射电子显微镜是指带有扫描附件的透射电子显微镜，特别是由场发射电子枪制成的扫描透射电子显微。扫描透射电子显微镜(STEM)是一种新的分析方法，它结合了扫描和传统透射电子显微镜的原理和特点。

　　扫描透射电子显微镜是透射电子显微镜的发展。扫描线圈迫使电子探针在薄膜样品上扫描。与扫描电子显微镜不同的是，探测器放置在样品下方，接收透射电子束或弹性散射电子束。放大后，在荧光屏上显示与常规透射电子显微镜相对应的扫描透射电子显微镜的明场图像和暗场图像。

扫描/透射电子显微镜的优点：

　　1、扫描透射电子显微镜可以观察到厚样品和低对比度样品。

　　2、通过在扫描透射模式下使用物镜的强激励可以实现微区衍射。

　　3、利用能量分析仪的方法可以分别收集和处理弹性散射和非弹性散射电子。

　　4、进行高分辨率分析、成像和生物大分子分析。

扫描/透射电子显微镜的工作原理：

　　通过用聚焦电子束扫描样品来完成的。在扫描模式下，场发射电子源发射电子，电子束通过磁透镜和样品前面的孔径会聚成原子级束斑。在电子束点聚焦在样品表面上之后，通过线圈控制器逐点扫描样品区域。在扫描每个点的同时，样品下的探测器同步接收散射电子。检测器接收到的与每个扫描位置相对应的信号被转换成电流强度并显示在荧光屏或计算机显示器上。样本上的每个点对应于生成的图像点。穿过探测器中间空穴的电子可以使用亮场探测器形成一般的高分辨率亮场图像。环形探测器接收的电子形成暗场图像。