扫描/透射电子显微镜特点居然有这么多！看看有哪些是你忽略的

扫描/透射电子显微镜光学系统经过改进，实现了分辨率的进一步提升，以崭新的形象亮相。采用半浸没式物镜和照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。

扫描/透射电子显微镜主要特点如下：

　　1.半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。

　　2.*的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。

　　3.浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可以有效地收集从电子枪内发射的电子。

　　4.最佳光阑角控制镜(ACL)配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。

　　5.柔和电子束模式(GB模式)通过给样品施加负电压，从而使电子束在即将撞击样品之前降低着陆电压，因此可以在低加速电压下进行高分辨观察。由于电子束在样品中散射区域减小，就会容易地观察样品浅表面的精细结构，能减少对热敏样品的损伤，可以直接观察非导电性样品。

　　6.过滤器是由二次电子控制电极、背散射电子控制电极、过滤器电极组合而成的*的能量过滤器。当电子束照射样品时，从样品表面会释放出各种能量的电子。过滤器通过组合多个静电场使电子束保持在透镜系统的中央，同时还对样品中产生的二次样品和背散射电子进行选择和检测。

　　7. 扫描/透射电子显微镜LABE检测器能检测低角度背散射电子。在低加速电压下对样品表面精细的形貌信息、在高加速电压下对样品的组分信息都能进行高分辨观察。